固态装配谐振器smr

.目前存在3种结构的体声波谐振器:硅反面刻蚀型、空气隙型及固态装配型(solidly mountedresonator, SMR ) .其中前两者均通过压电薄膜上下的空气界面来反射声波,虽然这两种4 汤亮郝震宏乔东海汪承灏ZnO固态装配型谐振器(SMR)的模拟分析[A]中国声学学会2007年青年学术会议论文集(下)[C]2007年 5 军峰李平周志坤郑敏杨进无源无线声

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他在~篇文章中讨论了固态装配型谐振器(Solidly MountedResonator,S胀)中布拉格四分 SMR器件。而在1967年,Sliker等人采用种方法制成了个CdS薄膜谐振器pJ。但4 汤亮郝震宏乔东海汪承灏ZnO固态装配型谐振器(SMR)的模拟分析[A]中国声学学会2007年青年学术会议论文集(下)[C]2007年 5 军峰李平周志坤郑敏杨进无源无线声

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体声波谐振器分为空气隙型(FBAR)、固态装配型(SMR)和硅背刻蚀型谐振器。传统体声波谐振器的制备工艺复杂、成本高。为了降低体声波谐振器的工艺门槛,使其得到更广泛摘要固态装配型谐振器(Solidly Mounted Resonator,SMR)是一种 MEMS振动器件,在生物传感等方面应用十分广泛。SMR具有高 20 GHz的振动频率、亚纳米量级的振动幅度.

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摘要 采用有限元分析软件Comsol Multiphics构建谐振器三维模型,研究器件结构、材料对其热性能的影响。固态装配型谐振器(SMR)有更好的热传导能力与热应力稳定性。在SM4 汤亮郝震宏乔东海汪承灏ZnO固态装配型谐振器(SMR)的模拟分析[A]中国声学学会2007年青年学术会议论文集(下)[C]2007年 5 军峰李平周志坤郑敏杨进无源无线声

1汤亮郝震宏乔东海汪承灏ZnO固态装配型谐振器(SMR)的模拟分析[A]中国声学学会2007年青年学术会议论文集(下)[C]2007年 2张辉张淑仪电极和基片对高次谐波体声3 汤亮郝震宏乔东海汪承灏ZnO固态装配型谐振器(SMR)的模拟分析[A]中国声学学会2007年青年学术会议论文集(下)[C]2007年 4 军峰李平周志坤郑敏杨进无源无线声

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固态装配谐振器smr,山东科技大学硕士学位论文摘要摘要近来,薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Reson 图 1.2(c)为固态装配(Solidly Mounted Resonator,SMR)型 FBAR。这种器件采用 高低阻德国的 Infneon公司在 2003推出了具有布拉格反射层结构的固贴式(又称固态装配型)薄膜体声波谐振器(SMRFBAR) [910]而我国关于薄膜体声波谐振器的研究才刚刚起步,距离

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