超细碳化硅硅

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半导体制造用高纯超细碳化硅陶瓷粉体表面改性研究 【摘要】:SiC因具有抗氧化性强、高温强度大、耐磨损性好、热稳定性佳、热膨胀系数小、热导率大、硬度和弹性模量高碳化硅磨粉机(超细微气流磨粉机)是我公司自行生产研发制造的针对于碳化硅专用磨粉机。该磨粉机精度高,稳定,完整的分级流畅以及特殊的密封措施,可靠地防止了细颗粒的泄

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