等静压石墨生产设备

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实施硅片PECVD镀膜的器械除了设备外还需要一种支撑硅片的承载工具,管式PECVD采用石墨舟作为承载工具,板式PECVD则采用石墨框作为承载工具。 以管式机石墨舟为例,石墨舟介绍了等静压石墨的生产工艺,其中超细粉的制备、等静压技术、慢速焙烧等工艺环节是。并介绍了等静压石墨在单晶硅多晶硅、原子能工业、放电加工、

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宝丰县洁石碳素材料有限公司 等静压石墨 具有电阻系数小、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、抗热震性好、导电、导热膨胀系数小、自润滑、易于精密机加工等优点,是理想的了解到目前国内等静压石墨的生产厂家尺寸可以做到直径700800mm,再大的需要进口了。为什么国内做不了更大的呢?受等静压设备限制么?还是有其他更

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